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J-GLOBAL ID：200903089981342158

スムーズなデジタル成分を作成するためのデジタルフォトリソグラフィーシステム

Inventor：
メイ、ウェンフイ

About メイ、ウェンフイ

, 
カナタケ、タカシ

About カナタケ、タカシ


Applicant, Patent owner：
ボール セミコンダクター インコーポレイテッド

About ボール セミコンダクター インコーポレイテッド


Agent (3)： 矢口 太郎 ,  大森 純一 ,  山口 康明
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2002543335
Publication number (International publication number)：2004514280
Application date： Nov. 01, 2001
Publication date： May. 13, 2004
Summary：
【解決手段】スムーズな斜め成分の作成が可能なデジタルフォトリソグラフィーシステムが提供される。このシステムは、変形可能なミラーデバイス(digital mirror device、略称DMD)などのデジタルピクセルパネルに第1デジタルパターンを提供するためのコンピュータを含む。このDMDは、複数のウエハーサイト上へ露光するための第1複数ピクセル要素を提供することができる。露光後は、このウェハーをこのサイトの長さより短い距離だけスキャンすることができる。次に前記DMDは、第2複数ピクセル要素を前記対象物の前記複数のウエハーサイト上へ露光するための第2デジタルパターンを受け取る。露光された第2複数ピクセル要素は、露光された第1複数ピクセル要素とオーバーラップする。このオーバーラップが露光される画像への漸進的変更を可能にし、これによってデジタル成分の作成が実現される。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
対象物上へのデジタルリソグラフィー実行システムであって、 デジタル画像から第1ピクセル要素を生成するピクセルパネルと、 前記第1ピクセル要素の焦点を露光用の前記対象物の第1サイト上に合わせるポイントアレーと、 第2ピクセル要素が前記第1サイトに整列するよう、前記ピクセルパネルと相対的に前記対象物を移動するためのリポジショニング手段と を有することにより、 前記ポイントアレーは前記第2ピクセル要素を露光用の前記対象物の前記第1サイト上に露光し、これにより前記第2ピクセル要素からの露光が前記第1ピクセル要素からの露光と全体的にではなく部分的にオーバーラップする ことを特徴とするデジタルリソグラフィー実行システム。
IPC (2)：
H01L21/027 ,  G03F7/20
FI (2)：
H01L21/30 529 ,  G03F7/20 521
F-Term (4)：
5F046AA06 ,  5F046AA11 ,  5F046BA05 ,  5F046BA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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