基板ホルダ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992272151
Publication number (International publication number)：1994123924
Application date： Oct. 12, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】基板ホルダの載置面から基板を除去する際に、基板が帯電するのを防止する。【構成】基板ホルダ1の載置面3上に開口5aを包囲するように堤状部材3aを設け、基板と堤状部材とで密閉空間4を形成する。ホルダに吸着してある基板の吸着を正圧気体で解除する際に、密閉空間に対して高湿度の気体を供給する湿度制御部10を正圧制御装置8に設ける。さらに、基板が載置面上から分離して搬送装置に受け渡されるまでの間、基板に対してイオン化した気体を供給するイオン化気体発生装置11を設ける。

Claim (excerpt)：

基板を載置する載置面と、該載置面に開口を持つ複数の貫通気孔とを有し、該気孔に負圧気体を供給することによって前記基板を前記載置面に吸着固定し、また前記気孔に正圧気体を供給することによって前記吸着固定を解除する基板ホルダにおいて、前記載置面上に前記開口の少なくとも1つを包囲するように形成され、前記基板と微小面積で接触するとともに、前記基板との間で密閉空間を形成する複数の堤状部材と;前記正圧気体として、前記密閉空間に対して高湿度の気体を供給する高湿度気体供給手段と;前記基板の吸着を解除した後に、前記基板に対してイオン化した気体を供給するイオン化気体供給手段とを備えたことを特徴とする基板ホルダ。

IPC (5)：

G03B 27/32 , B23Q 3/08 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027 , H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開昭57-034336
特開昭63-142829
特開平4-208551

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