膜パターンの形成方法、膜パターン形成装置、導電膜配線、多層配線基板、半導体チップの実装構造、電気光学装置、電子機器、ならびに非接触型カード媒体

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井上一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002119572
Publication number (International publication number)：2003317553
Application date： Apr. 22, 2002
Publication date： Nov. 07, 2003
Summary：

【要約】【課題】簡便な工程にて高精度の膜パターンを形成することが可能な膜パターンの形成方法および膜パターン形成装置、ならびに導電膜配線、多層配線基板、半導体チップの実装構造、電気光学装置、電子機器、ならびに非接触型カード媒体を提供する。【解決手段】本発明の膜パターンの形成方法は、液滴吐出法によって、基板上の所定の膜形成領域に膜パターンを形成する膜パターンの形成方法であって、(a)膜形成成分を含有する液状物からなる第1の液滴22aと、第1の液滴22aと混ざり合わない性質を有する第2の液滴24aとを、隣り合う位置にそれぞれ吐出し、(b)第1の液滴22aに含まれる前記膜形成成分を固化して膜パターン22を形成し、(c)第2の液滴24aを除去すること、を含む。

Claim (excerpt)：

液滴吐出法によって、基板上の所定の膜形成領域に膜パターンを形成する膜パターンの形成方法であって、(a)膜形成成分を含有する液状物からなる第1の液滴と、該第1の液滴と混ざり合わない性質を有する第2の液滴とを、隣り合う位置にそれぞれ吐出し、(b)前記第1の液滴に含まれる前記膜形成成分を固化して前記膜パターンを形成し、(c)前記第2の液滴を除去すること、を含む、膜パターンの形成方法。

IPC (11)：

H01B 13/00 503 , B05C 5/00 101 , B05C 11/10 , B05D 1/26 , B05D 1/34 , B05D 3/00 , G02F 1/1345 , H01L 21/288 , H01L 21/31 , H01L 21/3205 , H05K 3/46

FI (11)：

H01B 13/00 503 D , B05C 5/00 101 , B05C 11/10 , B05D 1/26 Z , B05D 1/34 , B05D 3/00 A , G02F 1/1345 , H01L 21/288 Z , H01L 21/31 A , H05K 3/46 C , H01L 21/88 B

F-Term (69)：

2H092GA32 , 2H092GA39 , 2H092GA60 , 2H092HA12 , 2H092HA14 , 2H092HA15 , 2H092KB04 , 2H092KB06 , 2H092NA25 , 4D075AC06 , 4D075AC07 , 4D075AC08 , 4D075AE22 , 4D075BB26Z , 4D075BB42Z , 4D075BB65Z , 4D075BB69Z , 4D075CA22 , 4D075CA23 , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075DB11 , 4D075DB13 , 4D075DB31 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075EA05 , 4D075EB32 , 4D075EB33 , 4D075EB39 , 4D075EC01 , 4D075EC07 , 4D075EC10 , 4D075EC30 , 4F041AA05 , 4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041BA13 , 4F042AA06 , 4F042AA07 , 4F042AB00 , 4F042BA08 , 4F042CC10 , 4F042DB00 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB36 , 4M104DD51 , 5E346AA60 , 5E346DD13 , 5E346FF45 , 5F033HH00 , 5F033HH07 , 5F033HH11 , 5F033HH13 , 5F033HH14 , 5F033HH40 , 5F033PP26 , 5F033SS21 , 5F045AB32 , 5F045AB33 , 5F045AB39 , 5F045BB08 , 5F045CB10 , 5F045EB19 , 5G323CA05

Return to Previous Page