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J-GLOBAL ID：200903090022138922

光造形装置

Inventor： 堀 健治
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997070535
Publication number (International publication number)：1998249942
Application date： Mar. 07, 1997
Publication date： Sep. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】 複雑な表面形状を有する被加工物に対しても微細な形状加工を効率良く行うことのできる光造形装置。【解決手段】 所定の形状を有する光パターンを形成するための光パターン形成手段(41、47a、47b)と、光パターンからの光を集光して被加工物(46)の表面に光パターンの像を形成するための対物光学系(45)と、被加工物の表面における光パターンの像の形成位置を実質的に変化させることなく被加工物の表面に対する入射光の角度を変化させるために、被加工物の表面に入射する光の光路を切り換えるための光路切換手段(44)とを備えている。

Claim (excerpt)：

所定の形状を有する光パターンを形成するための光パターン形成手段と、前記光パターンからの光を集光して被加工物の表面に前記光パターンの像を形成するための対物光学系と、前記被加工物の表面における前記光パターンの像の形成位置を実質的に変化させることなく前記被加工物の表面に対する入射光の角度を変化させるために、前記被加工物の表面に入射する光の光路を切り換えるための光路切換手段とを備え、前記被加工物の表面に形成された前記光パターンの像の光強度分布に応じて前記被加工物を形状加工することを特徴とする光造形装置。