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J-GLOBAL ID：200903090036881946

ケミカルフィルターの交換時期判定方法及び装置

Inventor： 片岡 誠 ,  岡田 喜久雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998335277
Publication number (International publication number)：2000162387
Application date： Nov. 26, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】本体ケミカルフィルターと同一の素材を充填したバイパスを設け、該バイパス内の濃度を測定することにより、本体ケミカルフィルターの交換時期を判定する方法は、新たな配管や遮蔽用の設備を設置しなければならないため、装置のコンパクト性に問題がある。【解決手段】ケミカルフィルターの交換時期を判定する装置において、少なくとも1基目のケミカルフィルター装置の前後に設けた検出器または測定点で測定される除去対象成分の濃度が一致した時期をケミカルフィルターの交換時期と判定することを特徴とするケミカルフィルターの装置を提供する。

Claim (excerpt)：

ケミカルフィルターの交換時期判定方法において、少なくとも1基目のケミカルフィルター装置の前後に設けた検出器で測定される除去対象成分の濃度が一致した時期を、ケミカルフィルターの交換時期と判定することを特徴とするケミカルフィルターの交換時期判定方法。

IPC (6)：

G21F 9/02 551 ,  G21F 9/02 ,  G21F 9/02 511 ,  B01D 53/04 ZAB ,  B01D 53/68 ,  G01T 1/167

FI (6)：

G21F 9/02 551 B ,  G21F 9/02 551 A ,  G21F 9/02 511 C ,  B01D 53/04 ZAB C ,  G01T 1/167 B ,  B01D 53/34 134 C

F-Term (18)：

2G088EE12 ,  2G088EE25 ,  2G088HH03 ,  2G088KK29 ,  4D002AA25 ,  4D002AC09 ,  4D002BA04 ,  4D002CA07 ,  4D002DA25 ,  4D002DA70 ,  4D002GA02 ,  4D002GB02 ,  4D012CA14 ,  4D012CB05 ,  4D012CE02 ,  4D012CF05 ,  4D012CG01 ,  4D012CK10