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J-GLOBAL ID:200903090062792595
テープキャリヤーの製法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
西藤 征彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996292968
Publication number (International publication number):1997266234
Application date: Aug. 31, 1988
Publication date: Oct. 07, 1997
Summary:
【要約】【課題】種々の付属処理を必要とせず、短時間にかつ連続的・効果的にポリイミド樹脂層に対するエッチングを施すことにより、耐熱性,可撓性等の諸特性に優れたテープキャリヤーを製造することのできる方法を提供する。【解決手段】金属導体層とポリイミド樹脂層とが一体化されているテープキャリヤー本体を準備し、そのテープキャリヤー本体のポリイミド樹脂層に対して、発振波長が400nm以下の紫外領域にあるレーザーを用いたレーザーエッチングを施しテープキャリヤーを製造する。
Claim (excerpt):
金属導体層とポリイミド樹脂層とが一体化されているテープキャリヤー本体を準備し、そのテープキャリヤー本体のポリイミド樹脂層に対してエッチングを施しテープキャリヤーを製造する方法であって、上記エッチングを発振波長が400nm以下の紫外領域にあるレーザーを用いたレーザーエッチングにより行うことを特徴とするテープキャリヤーの製法。
Patent cited by the Patent:
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