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J-GLOBAL ID：200903090073498990

マイクロレンズおよびその製造方法

Inventor： 本田 知久 ,  藤田 昌信 ,  原田 三郎
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 米澤 明 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991197959
Publication number (International publication number)：1993040216
Application date： Aug. 07, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 レンズの形状を非球面化することにより開口率の大きな、レンズを得る。【構成】 基材上に合成樹脂からなるマイクロレンズ形成する方法において、マイクロレンズ用透明樹脂層3上に熱溶融によって転写用マイクロレンズパターン2を形成し、エッチバック法によって転写用マイクロレンズパターンを転写する際に、マイクロレンズ形成用樹脂層のエッチング速度を転写用マイクロレンズパターンのエッチング速度よりも大きくし、転写されて形成されるレンズを楕円レンズ6とする。

Claim (excerpt)：

固体撮像素子基板上に形成した合成樹脂からなるマイクロレンズにおいて、マイクロレンズの形状が楕円の一部にほぼ合致する形状からなり、マイクロレンズの焦点距離が前記固体撮像素子の受光面近傍に配置されていることを特徴とするマイクロレンズ。

IPC (7)：

G02B 6/42 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 ,  G02B 3/02 ,  G02B 13/18 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開昭60-053073
  
• 特開昭62-014611
  

Cited by examiner (2)

• 特開昭60-053073
  
• 特開昭62-014611