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J-GLOBAL ID：200903090087763085

イオンビーム分析装置における対物スリット板のスリット間隙幅自動調整方法

Inventor： 中田 健彦 ,  足立 成人
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 金丸 章一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992192266
Publication number (International publication number)：1994036721
Application date： Jul. 20, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 イオン源からのイオンビーム量が減少した場合における試料の分析作業能率の低下を防ぐとともに、イオン源からのイオンビーム量が過大となった場合における試料の破壊を防止する。【構成】 イオンビームが通過するスリット間隙の幅が調整可能とされた対物スリット板2ax1,2ax2、2ay1,2ay2を備えたイオンビーム分析装置において、イオンビームの照射に先立ち、予め、照射すべき量のイオンビームが試料Sに照射されたときにその試料に流れるべきイオン電流値を試料通電電流設定値として設定しておく。イオンビームの照射中、イオンビームが照射された試料に流れるイオン電流値を測定し、この試料通電電流測定値と前記試料通電電流設定値との差分を求め、この差分をなくすようにその差分値に応じて対物スリット板によるスリット間隙幅を自動調整する。

Claim (excerpt)：

スリット間隙の幅が調整可能とされた対物スリット板の前記スリット間隙にイオンビームを通過させることによってイオンビーム量を調整し、そのイオンビームを真空チャンバ内に配置された試料に照射して、ラザフォード後方散乱法、粒子励起X線分光法等によりその試料の分析を行うイオンビーム分析装置において、照射すべき量のイオンビームが試料に照射されたときにその試料に流れるべきイオン電流値を試料通電電流設定値として設定し、イオンビームの照射中に、イオンビームが照射された試料に流れるイオン電流値を測定し、この試料通電電流測定値と前記試料通電電流設定値との差分を求め、この差分をなくすようにその差分値に応じて前記対物スリット板によるそのスリット間隙幅を自動調整することを特徴とするイオンビーム分析装置における対物スリット板のスリット間隙幅自動調整方法。

IPC (5)：

H01J 37/04 ,  G01N 23/225 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/252

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-168953
  
• 特開平3-261058
  
• 特開平4-184850