Pat
J-GLOBAL ID：200903090088445087
基板移載用フオーク
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991188339
Publication number (International publication number)：1993013550
Application date： Jul. 03, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】 基板の移載時における発塵が抑制され、表面汚染によるウエハの不具合を生じさせない基板移載用フォークを提供することにある。【構成】 熱処理される複数の基板を、これらが収納された基板収納容器から熱処理用基板保持具に移載するとともに、熱処理された複数の基板を、これらが保持された前記熱処理用基板保持具から基板収納容器に移載するために用いられる基板移載用フォークであって、少なくとも基板の下面と対接する部分において、CVDコート処理が施されていることを特徴とする。また、上面には、基板の下面と対接する複数の凸面部が形成されていることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
熱処理される複数の基板を、これらが収納された基板収納容器から熱処理用基板保持具に移載するとともに、熱処理された複数の基板を、これらが保持された前記熱処理用基板保持具から基板収納容器に移載するために用いられる基板移載用フォークであって、少なくとも基板の下面と対接する部分において、CVDコート処理が施されていることを特徴とする基板移載用フォーク。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
