Pat

J-GLOBAL ID：200903090097808320

ダイヤモンドサーミスタ及びその製造方法

Inventor： 宮田 浩一 ,  斉藤 公続
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993137823
Publication number (International publication number)：1994349606
Application date： Jun. 08, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 抵抗値及びサーミスタ定数(B定数)等の特性が安定していて、再現性が高く、互換性があるダイヤモンド薄膜サーミスタ及びその製造方法を提供する。【構成】 ダイヤモンド薄膜サーミスタは、気相合成法により形成されたダイヤモンド薄膜であって、その抵抗値及びサーミスタ定数(感度係数)が所定値に対して±5%以内にあるダイヤモンド薄膜を検知部に使用している。このダイヤモンド薄膜は、成膜中にダイヤモンド薄膜を合成する基板にレーザー光を入射して基板表面とダイヤモンド薄膜表面からの両反射光の干渉光を監視することにより検知部におけるダイヤモンド薄膜の膜厚を制御してその抵抗値を所定の値に制御すると共に、成膜中に気相合成装置内の原料ガスを質量分析し、原料ガス内のホウ素と炭素との比率を監視することによりそれが予め求められている所定の比率になるようにマスフローコントローラの出力を調整することにより形成する。

Claim (excerpt)：

気相合成法により形成されたダイヤモンド薄膜であって、その抵抗値及びサーミスタ定数(感度係数)が所定値に対して±5%以内にあるダイヤモンド薄膜を検知部に使用したことを特徴とするダイヤモンドサーミスタ。

IPC (3)：

H01C 7/04 ,  C22C 1/05 ,  G01K 7/22