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J-GLOBAL ID：200903090129258394

酸化チタン被覆プラスチックフィルムの製造方法および酸化チタン被覆プラスチックフィルム

Inventor： 山田 泰美 ,  宇山 晴夫
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998348820
Publication number (International publication number)：2000171606
Application date： Dec. 08, 1998
Publication date： Jun. 23, 2000
Summary：

【要約】【課題】基板への熱的な変質、変形が懸念され、耐熱性の低いプラスチックフィルム基材の利用は困難である。近年その柔軟性、加工性の点からプラスチックフィルム被覆光学薄膜の要求が叫ばれており、この課題の解決を目的とする。【解決手段】酸素雰囲気下でプラスチックフィルム上にプラズマを介した金属チタンを蒸着し、その際、蒸着の入射角度をつけることを特徴とする酸化チタン被覆プラスチックフィルムの製造方法を提供する。

Claim (excerpt)：

酸素雰囲気下でプラスチックフィルム上にプラズマを介した金属チタンの蒸着することを特徴とする酸化チタン被覆プラスチックフィルムの製造方法。

IPC (4)：

G02B 1/11 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/24 ,  G02B 5/28

FI (4)：

G02B 1/10 A ,  C23C 14/08 E ,  C23C 14/24 N ,  G02B 5/28

F-Term (15)：

2H048GA03 ,  2H048GA09 ,  2H048GA60 ,  2K009AA02 ,  2K009BB12 ,  2K009BB24 ,  2K009CC03 ,  2K009DD04 ,  2K009EE04 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA48 ,  4K029CA04 ,  4K029CA15 ,  4K029DD02