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J-GLOBAL ID：200903090145007148

プローブカード交換装置

Inventor：
川口 浩二

About 川口 浩二

, 
清水 政志

About 清水 政志


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 小原 肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001379376
Publication number (International publication number)：2003177158
Application date： Dec. 13, 2001
Publication date： Jun. 27, 2003
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】独立したカードクランプ機構が必要でなくコストを低減することができると共にプローブカードの交換時間を短縮することができ、しかも載置台の損傷を無くすことができるプローブカード交換装置を提供する。【解決手段】ヘッドプレート14の下面側の切り欠き部14A内に設けられ且つテストヘッド15と導通可能に接続されるプローブカード13を交換する装置であって、プローブカード13をテストヘッドと導通可能に載置するカード載置機構21と、このカード載置機構21をプローバ室11内で前後方向に摺動させる摺動機構とを備え、且つ、カード載置機構21はプローブカード13をテストヘッドのインサートリング16に接続、固定するエアシリンダ24を有する。
Claim (excerpt)：
テストヘッドが配置されるヘッドプレートに設けられ且つ上記テストヘッドと導通可能に接続されるプローブカードを交換する装置であって、上記プローブカードを上記テストヘッドと導通可能に載置するカード載置機構と、このカード載置機構を一方向に移動させる伸縮機構とを備えたことを特徴とするプローブカード交換装置。
IPC (4)：
G01R 31/28 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66
FI (4)：
G01R 1/06 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K
F-Term (20)：
2G003AA10 ,  2G003AB01 ,  2G003AG04 ,  2G003AH00 ,  2G003AH07 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AC00 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G132AA00 ,  2G132AE01 ,  2G132AF02 ,  2G132AF07 ,  2G132AJ01 ,  2G132AL00 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD10 ,  4M106DD30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • プローブカードの検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-106272   Applicant：株式会社日本マイクロニクス
  • プローブカードの検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-108024   Applicant：株式会社日本マイクロニクス
  • プローブ装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-355868   Applicant：東京エレクトロン株式会社
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