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J-GLOBAL ID：200903090150749128

トラップ装置及びこれを用いた未反応処理ガス排気機構

Inventor： 池田 亨 ,  堀内 孝
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  テル・エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 浅井 章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995132833
Publication number (International publication number)：1996299784
Application date： May. 02, 1995
Publication date： Nov. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】 熱により分解される未反応処理ガスを確実に除去でき且つ真空ポンプにも悪影響を与えないトラップ装置を提供する。【構成】 処理装置2に連結される排気通路18にトラップ用通路容器32を介設し、これに加熱トラップ手段64を収容する。このトラップ手段を加熱することにより未反応処理ガスを熱分解させ、析出したアルミニウム等の金属をここで付着除去させる。これにより後流側に位置する真空引きポンプにダメージが及ぶことを防止する。

Claim (excerpt)：

排気通路に介設されて熱により分解される処理ガスをトラップするトラップ装置において、前記排気通路の途中に介設されるべきトラップ用通路容器と、このトラップ用通路容器内に収容されてこれに流れる前記処理ガスと接触して熱分解させる加熱トラップ手段とを備えるように構成したことを特徴とするトラップ装置

IPC (4)：

B01J 19/00 301 ,  B01J 3/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285

FI (4)：

B01J 19/00 301 D ,  B01J 3/02 M ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭52-052173
  
• 特開平4-304381
  
• 特開平3-183780