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J-GLOBAL ID：200903090153878603

シリコンウェーハ及びその製造方法

Inventor： 則本 雅史 ,  村上 義男
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 須田 正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999058145
Publication number (International publication number)：2000260670
Application date： Mar. 05, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 機械的強度をそれ程低下させることなく、かつ厚さを小さくしたシリコンウェーハを製造する。【解決手段】 少なくともウェーハ周辺部10aを除くシリコンウェーハ10の片面又は両主面の全領域にわたって凹部11,12が形成されるか、又はウェーハ周辺部10aに加えてウェーハ中央部を除くシリコンウェーハ10の片面又は両主面の全領域にわたって凹部11,12が形成されたシリコンウェーハである。この凹部11,12の深さd1,d2が互いに同一である。

Claim (excerpt)：

少なくともウェーハ周辺部(10a)を除くシリコンウェーハ(10)の片面又は両主面の全領域にわたって凹部(11,12)が形成されたシリコンウェーハ。