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J-GLOBAL ID：200903090177729676

デイスクキヤリア

Inventor： 冨田 健二
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991169925
Publication number (International publication number)：1993020686
Application date： Jul. 10, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 薄膜磁気ディスクの製造に用いるスパッタリング用ディスクキャリアにおいて、磁気特性の均一な薄膜磁気ディスクが作製でき、耐久性にも優れたディスクキャリアを提供する。【構成】 中央部にほぼ円形の穴を有する板状のディスクキャリア11において、ディスク2を立てて支持する内周面13にU字形の溝12を設けることにより、ディスク2とディスクキャリア11との熱伝導が良くなって温度分布が均一となり、磁気特性の均一な薄膜磁気ディスクが得られる。また、熱応力の部分的集中が抑えられるためディスクキャリア11の変形が起り難くなり、その耐久性が向上する。

Claim (excerpt)：

中央部にほぼ円形の穴を有する板状のディスクキャリアにおいて、ディスクを立てて支持する前記ディスクキャリアの穴の下半分の内周面に、その内周に沿って底面が平らで前記内周面における開口部の幅が前記底面の幅よりも大きいU字形の溝を設けたディスクキャリア。