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J-GLOBAL ID：200903090194896462

不要電気めっき堆積物の除去方法及び装置

Inventor： ラドハ ナヤック ,  イェズディ ドルディ ,  ジョセフ スティーブンス ,  ペーター ヘイ
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 中村 稔 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001128442
Publication number (International publication number)：2002097582
Application date： Mar. 22, 2001
Publication date： Apr. 02, 2002
Summary：

【要約】【課題】 不要な堆積物を基体から除去するための装置及び方法を提供する。【解決手段】 本発明は、エッチャントをエッジビード除去チャンバへ供給するシステムが提供される。本装置は、エッチャントを貯蔵することができるエッチャントタンク162と、エッチャントタンク内に容れられているエッチャントのレベルを検知するセンサと、検知されたレベルに応答して1つまたはそれ以上の化学成分をエッチャントとして混合し、エッチャントタンクへ供給する混合タンク168を有している。

Claim (excerpt)：

エッチャントをチャンバへ供給する装置であって、エッチャントを貯蔵することができるエッチャントタンクと、上記エッチャントタンクに結合されている流体レベルセンサと、上記流体レベルセンサに応答し、1つまたはそれ以上の化学成分をエッチャントとして混合する混合タンクと、を備えていることを特徴とする装置。

IPC (6)：

C23F 1/08 103 ,  C23F 1/16 ,  C25D 5/48 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/308

FI (6)：

C23F 1/08 103 ,  C23F 1/16 ,  C25D 5/48 ,  H01L 21/288 Z ,  H01L 21/308 G ,  H01L 21/306 R

F-Term (35)：

4K024AA09 ,  4K024AB19 ,  4K024BA11 ,  4K024BB12 ,  4K024BC06 ,  4K024DB10 ,  4K024GA02 ,  4K057WA01 ,  4K057WA04 ,  4K057WA19 ,  4K057WB17 ,  4K057WC10 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE13 ,  4K057WE25 ,  4K057WK01 ,  4K057WM06 ,  4K057WM11 ,  4K057WM17 ,  4K057WN01 ,  4M104BB04 ,  4M104CC01 ,  4M104DD33 ,  4M104DD43 ,  4M104DD52 ,  4M104DD64 ,  4M104DD75 ,  4M104HH20 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE10 ,  5F043EE28 ,  5F043GG02 ,  5F043GG04