Pat
J-GLOBAL ID：200903090197529878
走査型近接場光学顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994263584
Publication number (International publication number)：1996122036
Application date： Oct. 27, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：
【要約】【目的】測定試料に対する入射光に自由度を持たせることにより、エバネッセント波の進行方向と測定試料の配置関係に依存して生じる光学的影響を除去し、測定試料のみの光学情報を得ることが可能な走査型近接場光学顕微鏡を提供する。【構成】反射レーザー光10bの照射方向を回転してエバネッセント波の伝搬方向を回転させる照明手段と、反射レーザー光が試料に照射されている間、プローブ4により検出された検出データに演算を施す演算測定手段とを備える。照明手段は、プリズム6と、このプリズム上の試料裏面に反射レーザー光を臨界角以上の入射角で照射させ且つその照射方向を回転させる回転照明光源とを備える。回転照明光源は、光源8とモータ12上に固定された楔形ミラー14とを備える。演算測定手段は、試料の光学情報のみを測定するように、エバネッセント波と試料からの散乱光との干渉光を積分して平均化する積分回路18を備える。
Claim (excerpt)：
試料裏面に照明光を照射した際に試料表面近傍に発生したエバネッセント波をプローブを走査することによって検出する走査型近接場光学顕微鏡において、前記照明光の照射方向を前記試料に対して回転させることによって、前記エバネッセント波の伝搬方向を回転させる照明手段と、その照射方向を回転しながら前記照明光が前記試料に照射されている間、前記プローブを走査することによって検出された検出データに所定の演算を施して前記試料の光学情報を測定する演算測定手段とを備えていることを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (3)：
G01B 11/30 102
, G01N 37/00
, G02B 21/00
