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J-GLOBAL ID：200903090213064848

高密度焼結体用酸化インジウム粉末

Inventor： 持田 裕美 ,  田中 道広
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 大家 邦久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997164469
Publication number (International publication number)：1998095615
Application date： Jun. 20, 1997
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ITO膜の製造に用いるターゲット材原料として最適な高密度焼結体が得られる酸化インジウム粉末の提供【解決手段】平均粒径が3.0μm以下であって平均粒径とピーク粒径の比が3倍以下であり、比表面積(BET値)10m2/g以下、結晶子径900Å以上であることを特徴とする高密度焼結体用酸化インジウム粉末。

Claim (excerpt)：

平均粒径が3.0μm以下であって平均粒径とピーク粒径の比が3倍以下であり、比表面積(BET値)10m2/g以下、結晶子径900Å以上であることを特徴とする高密度焼結体用酸化インジウム粉末。

IPC (3)：

C01G 15/00 ,  H01B 13/00 503 ,  C23C 14/34

FI (3)：

C01G 15/00 B ,  H01B 13/00 503 B ,  C23C 14/34 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 金属酸化物粉末およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-209211   Applicant：住友化学工業株式会社