含フルオロポリマー及びこれを含む化学増幅型レジスト組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：八田幹雄 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001326660
Publication number (International publication number)：2002338634
Application date： Oct. 24, 2001
Publication date： Nov. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】パーフルオロ-2,2-ジメチル-1,3-ジオキソルから誘導される繰返し単位を含むポリマーと、これを含む化学増幅型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 (a)(a-1)パーフルオロ-2,2-ジメチル-1,3-ジオキソルから誘導される下記式で表される繰返し単位と、【化1】(a-2)ビニールから誘導される繰返し単位及びノルボルネンから誘導される繰返し単位よりなる群から選ばれる少なくとも一つのコモノマー繰返し単位よりなる感光性ポリマーと、(b)PAGとを含む組成物。

Claim (excerpt)：

(a)パーフルオロ-2,2-ジメチル-1,3-ジオキソルから誘導される下記式で表される繰返し単位と、【化1】(b)ビニールから誘導される下記式で表される繰返し単位とを含むことを特徴とするポリマー。【化2】(式中、R1は-H、-Clまたは-Fであり、R2及びR3は各々独立に-Hまたは-Fであり、R4は-H、-F、-CF3、-OCF3、-OCF2CF3、-OCF2CF2CF3、-CH2C(CF3)2OH、酸により分解可能な基を含むフルオロ化したアルキルオキシ基、C1〜C8のn-パーフルオロアルキル基、-ORF(式中、RFはC1〜C3のn-パーフルオロアルキル基)、-OQZ(式中、Qは0〜5個のエーテル酸素原子を含むパーフルオロ化アルキレン基であり、ここで、Q中のC及びO原子の合計は2〜10であり、Zは-COOR、-SO2F、-CN、-COFまたは-OCH3であり、ここで、RはC1〜C4のアルキル)である。)

IPC (10)：

C08F234/00 , C08F210/02 , C08F214/06 , C08F214/18 , C08F216/02 , C08F216/14 , C08F232/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (10)：

C08F234/00 , C08F210/02 , C08F214/06 , C08F214/18 , C08F216/02 , C08F216/14 , C08F232/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

F-Term (54)：

2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J100AA02Q , 4J100AC03Q , 4J100AC21Q , 4J100AD07Q , 4J100AD07R , 4J100AE10Q , 4J100AE38Q , 4J100AR11Q , 4J100AR11R , 4J100AR32P , 4J100BA02Q , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04Q , 4J100BA04R , 4J100BA05Q , 4J100BA05R , 4J100BA06Q , 4J100BA06R , 4J100BA19Q , 4J100BA19R , 4J100BA20Q , 4J100BA20R , 4J100BA40Q , 4J100BA40R , 4J100BA57Q , 4J100BA57R , 4J100BB01Q , 4J100BB01R , 4J100BB07P , 4J100BB07Q , 4J100BB07R , 4J100BB12Q , 4J100BB12R , 4J100BB18P , 4J100BB18Q , 4J100BB18R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭58-038707
特開昭58-103385
特表平3-502585

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