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J-GLOBAL ID：200903090233939743

加速度センサ

Inventor： 原 鉄三 ,  根来 泰宏
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993156241
Publication number (International publication number)：1994342008
Application date： Jun. 02, 1993
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 加速度センサからの配線の引出しを、絶縁基板に形成した一対の電極部で構成した固定電極により行うことで、加速度を静電容量として正確に検出することができる。【構成】 シリコン板にエッチングにより質量部14を有する可動部11を形成する。そして、可動部11の下側には可動電極16を形成すると共に、対向する位置に一対の電極部21,22からなる固定電極20を形成する。これにより、質量部14の上下方向の加速度を静電容量の変化として検出できる。また、電極部21,22からのみ配線の取出しを行うことにより、配線の引回しが原因となって浮遊容量が検出信号に加わるのを防止し、加速度の検出感度を向上する。

Claim (excerpt)：

絶縁基板と、該絶縁基板上に位置して設けられ、梁を介して変位する質量部を有する可動部と、前記絶縁基板との対向面側に位置して、該可動部の質量部に形成された可動電極と、該可動電極と対向する位置で前記絶縁基板上に形成され、ほぼ同一面積をもった一対の電極部からなる固定電極と、該固定電極の各電極部にそれぞれ接続した状態で前記絶縁基板上に設けられた一対の信号取出し線とから構成してなる加速度センサ。