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J-GLOBAL ID：200903090236674481

静電吸着装置

Inventor： 菅野 誠一郎 ,  ▲吉▼岡 健 ,  金井 三郎 ,  高橋 主人 ,  伊藤 陽一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996314489
Publication number (International publication number)：1998154745
Application date： Nov. 26, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】残留吸着力の消失の早い応答性の良い静電吸着装置と、その製造方法、及びそれを備えたウエハ処理装置を提供する。【解決手段】静電吸着装置の誘電体膜を、抵抗率の異なる誘電体膜を積層した構造とする。また、実際にウエハに接触する最上段の誘電体膜は溶射法により付けるか、またはあらかじめ積層構造となるようにグリーンシートを一体で成形し焼成する。

Claim (excerpt)：

外部から電圧を印加可能な電極を少なくとも1個含み、前記電極の少なくとも表面には誘電体膜が付けられ、前記誘電体膜の表面に設置された被吸着物と前記電極間に電位差を与え、前記被吸着物を静電的に吸着保持する静電吸着装置において、前記誘電体膜は抵抗率の異なる複数の誘電体膜が積層された構造を有することを特徴とする静電吸着装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  H02N 13/00 ,  C23C 16/44

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D ,  C23C 16/44 F