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J-GLOBAL ID：200903090269072584

マルチワイヤーソー

Inventor： 利根川 正
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 倉内 義朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997064186
Publication number (International publication number)：1998249699
Application date： Mar. 18, 1997
Publication date： Sep. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】ワイヤーにかかる負荷を小さくすることで、ワイヤーの破損を防止するとともに、スライス速度を速くすることを可能とし、かつウエハ板厚のばらつきを小さくしたマルチワイヤーソーを提供する。【解決手段】所定の間隔を存して配置された複数個のガイドローラ2,3,4の外側に1本のワイヤー1が一定の間隔で螺旋状に掛け回され、2個のガイドローラ3,4間に掛け渡された多条ワイヤー1aに対して半導体インゴット10を装着したステージ部5を前進させることにより、多条ワイヤー1aによって半導体インゴット10を薄くスライスするマルチワイヤーソーにおいて、ステージ部5の前進時、このステージ部5を多条ワイヤー1aに対してスライス方向に揺動させる。

Claim (excerpt)：

所定の間隔を存して配置された複数個のガイドローラ群の外側に1本のワイヤーが一定の間隔で螺旋状に掛け回され、任意の2個のガイドローラ間に掛け渡された多条ワイヤーに対してワークを装着したステージ部を前進させることにより、前記多条ワイヤーによって前記ワークを薄くスライスするマルチワイヤーソーにおいて、前記ステージ部の前進時、このステージ部を前記多条ワイヤーに対してスライス方向に揺動させる揺動手段を備えたことを特徴とするマルチワイヤーソー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭56-076366
  
• 特開昭56-076366
  
• 特開昭56-076366