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J-GLOBAL ID：200903090278453701

集積型AFMセンサー及びその製造方法

Inventor： 高山 美知雄
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993117572
Publication number (International publication number)：1994307852
Application date： Apr. 22, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高分解能の集積型AFMセンサー及びその製造方法を提供する。【構成】 片持ち梁部のガラス等からなる支持部103 と、該支持部103 に一端を支持されたシリコン等で形成された片持ち梁部101 と、該片持ち梁部101 の表面に設けられた片持ち梁部の変位を検出するボロンを拡散したシリコンからなる抵抗層104 と、片持ち梁部101 の自由端の裏面に設けられた窒化シリコンからなる探針部102 と、抵抗層104 に接続された電極部105 とで集積型AFMセンサーを構成する。

Claim (excerpt)：

片持ち梁の支持部と、該支持部より伸びるように配置された片持ち梁と、該片持ち梁の表面に設けた該片持ち梁の変位を検出する変位検出部と、前記片持ち梁の自由端であって、該片持ち梁に対して前記支持部と反対側である裏面に設けたシリコン化合物からなる探針部とを備えていることを特徴とする集積型AFMセンサー。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/28