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J-GLOBAL ID：200903090291509171
複合樹脂用現像液
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 順三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994199228
Publication number (International publication number)：1996062858
Application date： Aug. 24, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：
【要約】【目的】 PESとの混合系からなる感光基を有する複合樹脂に対して、現像残渣がなく、かつ解像度に優れる現像を達成し得るような現像液を提供すること。【構成】 感光基を有する樹脂とポリエーテルスルホン(PES)からなる樹脂組成物の現像液であって、この現像液の主成分が、CH3O-(CH2CH2O)n -CH3(n=1〜5)の一般式で表されることを特徴とする複合樹脂用現像液である。
Claim (excerpt)：
感光基を有する樹脂とポリエーテルスルホン(PES)からなる樹脂組成物の現像液であって、この現像液の主成分が、CH3O-(CH2CH2O)n -CH3(n=1〜5)の一般式で表されることを特徴とする複合樹脂用現像液。
IPC (3)：
G03F 7/32
, C08L 81/06 LRF
, G03F 7/039 501
