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J-GLOBAL ID：200903090320051465
積層型変位素子及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
浅井 章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992353047
Publication number (International publication number)：1994181343
Application date： Dec. 11, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 非透水性物質よりなる防湿層に形成されるクラックの方向を制御することができる積層型変位素子及びその製造方法を提供する。【構成】 圧電素子板14と内部電極16とを交互に積層した積層体18の側面に、内部電極と一層おきに接続する外部電極20A,20Bを設けた積層型変位素子において、外部電極を設けない側面に防湿層24を形成し、この中に、内部電極の端部に沿って多数の気泡26を配列させる。これにより、素子稼働時に気泡の配列に切り取り線の作用をさせて防湿層にクラック28が発生する時には上記気泡の配列に沿ってクラックを発生させ、異極間に跨がってクラックが発生することを防止する。
Claim (excerpt)：
圧電素子板と内部電極とを交互に積層してなる積層体の側面に、この内部電極と一層おきに接続する外部電極を設けた積層型変位素子において、前記積層体の前記外部電極を設けない側面に形成された非透水性物質よりなる防湿層と、前記内部電極の端部に沿って前記防湿層中に形成された多数の気泡とを備えたことを特徴とする積層型変位素子。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 41/08 S
, H01L 41/22 Z
