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J-GLOBAL ID：200903090320990569

アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法

Inventor： 斉藤 尚史
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997192360
Publication number (International publication number)：1999038440
Application date： Jul. 17, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】 液晶層の配向の乱れ、および画素電極とドレイン電極との接続不良を低減することができるアクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 絶縁性基板1上にベースコート膜2、活性層3、ゲート絶縁膜4、ゲート電極5を所定の形状に形成する。活性層3にはソース領域およびドレイン領域6とチャネル領域7とを形成する。その後、全面に層間絶縁膜8を形成し、コンタクトホール9を開口して、ソース電極10およびドレイン電極11を形成する。この後、全面に第1の平坦化膜12を形成する。第1の平坦化膜12にコンタクトホール13を開口して、ドレイン電極11に中間電極14を形成する。次に、全面に第2の平坦化膜15を形成する。その後、全面をエッチバックして中間電極14の表面を露出させる。そして、画素電極16を中間電極14に電気的に接続して、アクティブマトリクス基板を完成させる。

Claim (excerpt)：

スイッチング素子を被覆して表面を平坦とする第1の平坦化膜と、前記第1の平坦化膜に開口されたコンタクトホールを介して前記スイッチング素子と電気的に接続される中間電極と、前記中間電極と電気的に接続される画素電極と、を有するアクティブマトリクス型液晶表示装置において、前記コンタクトホールを開口することによって生じた凹部を埋め、かつ前記中間電極の表面を露出させるとともに、前記中間電極の表面を含む表面が平坦となるように第2の平坦化膜が形成され、前記中間電極が露出している部分と電気的に接続するように前記第2の平坦化膜上に前記画素電極が形成されていることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。

IPC (5)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (5)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 627 A