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J-GLOBAL ID：200903090321411236

半導体製品の製造工程管理システム

Inventor： 井上 尚明 ,  出尾 卓朗
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 根本 進
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996097621
Publication number (International publication number)：1997260228
Application date： Mar. 26, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】 半導体製品の製造工程における人為的なミスを防止し、その歩留りを向上させる事ができ、オペレータを工程マニュアル等の印刷物や特定場所に設置してあるコンピュータ端末等から物理的に解放し、目的の工程に集中させ、効率を向上し、半導体製品の製造コストを減少させることができる半導体製品の製造工程管理システムを提供する。【解決手段】 半導体製品の製造装置Mによる処理対象ワークW、および、その製造装置MのオペレータPそれぞれの識別信号を、それぞれの位置において発信し、各識別信号を、そのオペレータPに装着可能な読み取り手段21により読み取る。その読み取られた識別信号を、そのワークWとオペレータPとの対応関係を含む記憶された工程情報と照合し、その照合結果に応じた信号を出力する。

Claim (excerpt)：

半導体製品の製造装置による処理対象ワークの識別信号を、そのワークの位置において発信する手段と、その製造装置のオペレータの識別信号を、そのオペレータの位置において発信する手段と、そのオペレータに装着可能な前記各識別信号の読み取り手段と、前記ワークとオペレータとの対応関係を含む工程情報を記憶する手段と、その工程情報と、前記読み取り手段により読み取られた識別信号との照合結果に応じた信号を出力する手段とを備える半導体製品の製造工程管理システム。