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J-GLOBAL ID：200903090336341315

ガラス膜作製装置

Inventor： 木下 貴陽 ,  伊藤 秀明 ,  生西 省吾 ,  大野 浩一
Applicant, Patent owner： 三菱電線工業株式会社
Agent (1)： 津川 友士
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993186483
Publication number (International publication number)：1995041953
Application date： Jul. 28, 1993
Publication date： Feb. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 不純物が著しく少ないガラス膜を基板上に作製するとともに、ガラス膜の基板に対する付着力を高める。【構成】 反応容器1の内部にカーボン製のヒータ2,2b,2cを配置して基板3を十分に高い温度に加熱し、反応容器1内にプラズマを発生させるための誘導コイル4を反応容器1の外部に配置した。

Claim (excerpt)：

減圧プラズマCVD法によりガラス膜を作製する装置であって、ガラス膜作製のための反応性ガスが導入される反応容器(1)の内部所定位置に、基板(3)を加熱するカーボン製のヒータ(2)が配置されてあるとともに、反応容器(1)の外周所定位置にプラズマ発生用の誘導コイル(4)が配置されてあることを特徴とするガラス膜作製装置。

IPC (3)：

C23C 16/50 ,  C23C 16/30 ,  G02B 6/13