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J-GLOBAL ID：200903090347526082

金属間化合物融液を用いた高融点シリサイド結晶成長法

Inventor： 野瀬 康男 ,  立岡 浩一 ,  桑原 弘
Applicant, Patent owner： 静岡大学長
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999248700
Publication number (International publication number)：2001072500
Application date： Sep. 02, 1999
Publication date： Mar. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】 高性能熱電デバイスに好適に用い得る大型・高品質のシリサイドバルク結晶、特にβ-FeSi2 結晶を液相から成長する方法を提供する。【解決手段】 シリコン基板と高温に保持した金属間化合物融液とを反応させてシリサイド結晶を得る高融点シリサイド結晶成長法である。金属間化合物として鉄アンチモン化合物を用いて、大型で高品質のβ-FeSi2 結晶を生成することができる。

Claim (excerpt)：

シリコン基板と高温に保持した金属間化合物融液とを反応させてシリサイド結晶を得る高融点シリサイド結晶成長法。

IPC (2)：

C30B 29/52 ,  H01L 35/14

FI (2)：

C30B 29/52 ,  H01L 35/14

F-Term (4)：

4G077AA02 ,  4G077BE05 ,  4G077CC04 ,  4G077ED06