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J-GLOBAL ID:200903090354228348

無接触式直線変位センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 古澤 俊明 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993041870
Publication number (International publication number):1994229708
Application date: Feb. 05, 1993
Publication date: Aug. 19, 1994
Summary:
【要約】【目的】磁気センサの直線的な移動方向に対してセンシング用永久磁石を磁気センサの幅方向に傾斜させて配置することにより、変位を磁気センサの抵抗比として検出するものにおいて、磁気センサとして強磁性体薄膜を使えるようにし、センシング用永久磁石に安価なフェライト磁石を使えるようにし、かつ、出力の直線性の良いものを得ることを目的とする。【構成】磁気センサは、進退方向が長手方向となる多数の短冊状の強磁性体薄膜を直列に連結した2個の磁気検出素子を進退方向に対して直角方向に並べて間隔をもって配置するとともに電気的には直列に接続し、これらの磁気検出素子に進退方向の磁気バイアスを均等に印加する磁気バイアス磁石を磁気検出素子に臨設し、センシング用永久磁石は、前記磁気センサの幅方向にN極とS極を有するように配置する。
Claim (excerpt):
変位を検出すべき物体とともに移動する磁気センサを設け、この磁気センサの直線的な移動方向に対してセンシング用永久磁石を磁気センサの幅方向に傾斜させて配置することにより、物体の変位を磁気センサの出力として検出する無接触式直線変位センサにおいて、磁気センサは、進退方向が長手方向となる多数の短冊状の強磁性体薄膜を直列に連結した2個の磁気検出素子を進退方向に対して直角方向に並べて間隔をもって配置するとともに電気的には直列に接続し、これらの磁気検出素子に進退方向の磁気バイアスを均等に印加する磁気バイアス磁石を磁気検出素子に臨設し、センシング用永久磁石は、前記磁気センサの幅方向にN極とS極を有するように配置したことを特徴とする無接触式直線変位センサ。
IPC (2):
G01B 7/00 ,  G01D 5/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭63-212803
  • 特開昭61-245003

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