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J-GLOBAL ID：200903090357575847

半導体製品の信頼性試験装置

Inventor： 安池 則之 ,  遠藤 修吾
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 石田 長七 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992054056
Publication number (International publication number)：1993259245
Application date： Mar. 13, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】試料数及び試験工数を極力削減し、新製品の信頼性評価負担を軽減することができる半導体製品の信頼性試験装置を提供するにある。【構成】被試験半導体製品Aは入力端子及び出力端子を夫々入力抵抗R1 び負荷抵抗R2 を介してスイッチング・マトリックス5のターミナルに接続する。スイッチング・マトリックス5は別のターミナル群に、発光ダイオード駆動用安定電源部6と、発光ダイオードバイアス用安定電源部7と、出力用パワーMOSFETバイアス用安定電源部8との各出力端子を接続する。システム・コントローラ9はスイッチング・マトリックス5を制御して試験回路の切り換え形成を行なうとともに試験回路に応じて電源部6〜8の動作を制御する。恒温恒湿槽12はチャンバー内に被試験半導体製品Aを収納して環境ストレスを与える。

Claim (excerpt)：

複数の性格を異にする素子を一体に成型することにより構成された半導体製品の信頼性試験に用いる信頼性試験装置において、各素子を単体で試験する場合に用いる複数の試験回路と、複数の試験回路を切り換え形成するためのスイッチング・マトリックスと、装置全体の制御を行なうシステム・コントローラと、被試験半導体製品に環境的ストレスを与える試験チャンバーとを具備したことを特徴とする半導体製品の信頼性試験装置。