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J-GLOBAL ID：200903090357918051

被覆されたガラス基体

Inventor： パトリシア ルザコウスキ アセイ ,  ダグラス サミュエル ドーソン ,  デビッド エミル レコック ,  ジョージ アンドリュー ニューマン ,  ジョン フランク ソプコ ,  ロイアン リン スチュワート - ディヴィス
Applicant, Patent owner： ピーピージー インダストリーズ オハイオ, インコーポレイテッド
Agent (1)： 浅村 皓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999326457
Publication number (International publication number)：2000143294
Application date： Feb. 15, 1994
Publication date： May. 23, 2000
Summary：

【要約】【課題】 移動している基体の上に、真珠光現象の発生を防止すべく被覆-基体間の屈折率の差が最少限に抑えられた金属酸化物の被覆を形成する化学的蒸着法を提供する。【解決手段】 珪素含有前駆体としてのテトラメチルシクロテトラシロキサン0.3モル%、錫含有前駆体としての塩化モノブチル錫0.50モル%及び酸素21モル%を含有し、残りは窒素であるガス状混合物を電気的に150°C加熱、制御されている石英管に導入する。石英管においてガス状混合物の速度は30cm/秒に保持する。このガス混合物を約650°Cに加熱されたガラス基体の上をそれを覆って3〜30秒間通過させ、その後使用済みガス混合物をフードの中に排気する。この蒸着により形成された珪素酸化物及び錫酸化物より成るフィルムの成長速度はジエチルシランを珪素含有前駆体として使用した対照例の129Å/秒に比較して181Å/秒である。

Claim (excerpt)：

混合金属酸化物自体はリン、アルミニウム及びホウ素を含んでいない1種又は2種以上の該混合金属酸化物より構成される被覆であって、リン、アルミニウム及びホウ素より成る群から選択される元素の15原子%までの量が該被覆を通して分散されている、そのような被覆を有する透明な基体。

IPC (4)：

C03C 17/245 ,  B32B 9/00 ,  B32B 17/06 ,  C23C 16/40

FI (4)：

C03C 17/245 Z ,  B32B 9/00 A ,  B32B 17/06 ,  C23C 16/40

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特表平6-505957
  
• 特表平6-505957
  
• 特表平6-505696
  
• 特表平6-505696
  
• 特表平6-505695
  
• 特表平6-505695