Pat
J-GLOBAL ID：200903090372154165
加速度センサおよびその製造方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992276319
Publication number (International publication number)：1994130081
Application date： Oct. 14, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：
【要約】【構成】 基体(11)と、重り(12)と、弾性支持梁(13)とが一体のシリコン基材から形成されてなる(角)加速度センサであって、重り(12)に質量調整用溝(17)や膜を設け、または弾性支持梁(13)にバネ定数調整用溝または膜を設けた(角)加速度センサ、およびp型シリコン基材の片面にn型シリコン層を形成して、電解エッチングする工程を有する(角)加速度センサの製造方法において、n型シリコン層が、弾性支持梁となるべき部分には形成され、シリコン基材を貫通すべき部分には形成されていないパターン状の層である(角)加速度センサの製造方法。【効果】 (角)加速度センサは、小型かつ簡素な構成で精度良い検出が可能であり、(角)加速度センサの製造方法は、従来の気相エッチングを省略でき簡易な方法である。
Claim (excerpt)：
基体(11)と、重り(12)と、該重りを該基体に支持する弾性支持梁(13)とが一体のシリコン基材から形成されてなる加速度センサであって、該重り(12)に該重りの質量を調整する為の溝(17)または膜を設けたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (3)：
G01P 15/02
, H01L 29/84
, H01L 21/306
Cited by examiner (6)
Show all
Return to Previous Page
