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J-GLOBAL ID：200903090397790724

感光性樹脂組成物

Inventor：
坂田 美和

About 坂田 美和


Applicant, Patent owner：
沖電気工業株式会社

About 沖電気工業株式会社


Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995004573
Publication number (International publication number)：1996193167
Application date： Jan. 17, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】 二層レジストプロセス法に好適に用いることができ、しかもO2 -RIE耐性の高いパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 エポキシ基を含むアルキル置換基を有するポリ(シロキサン)誘導体と、露光によって酸を発生する酸発生剤とを有してなる感光性樹脂組成物。ポリ(シロキサン)誘導体が、以下の式(1)で表される化合物か、式(2)で表される化合物か、もしくは式(1)で表される化合物と式(2)で表される化合物との共重合体である。【化1】(ただし、Rはエポキシ基を含むアルキル置換基あるいは炭化水素基を表す。また、エポキシ基を含むアルキル置換基は一つ以上含まれている。m、nは重合度を表す正の整数である。)
Claim (excerpt)：
エポキシ基を含むアルキル置換基を有するポリ(シロキサン)誘導体と、露光によって酸を発生する酸発生剤とを有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (5)：
C08L 83/06 LRT ,  C08G 77/14 NUG ,  C08K 5/00 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
  • 特開平4-159553
  • 特開平4-159553
  • 特開平4-338958
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