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J-GLOBAL ID：200903090400729608

気体の貯蔵・送出方法及び気体の貯蔵・送出装置

Inventor： 中野谷 勉 ,  渋沢 裕二 ,  羽角 和裕 ,  石森 浩二 ,  茨木 敏 ,  高内 章
Applicant, Patent owner： 高千穂化学工業株式会社
Agent (1)： 松川 克明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998034460
Publication number (International publication number)：1999082891
Application date： Feb. 17, 1998
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 特定の相当量の気体化合物を効率よく吸着し、安全、安定に貯蔵し、該気体の大気への放出を抑制しつつ安全にかつ効率よく送出する方法及び装置を提供する。【解決手段】 所定量の用いる水素化化合物またはハロゲン化化合物気体をフェノール樹脂を主原料とする活性炭と接触させて、大気圧以下の貯蔵環境下で該活性炭に吸着させて貯蔵し、吸着した該気体の少なくとも一部を脱着して、作業環境下へ送出する方法および装置による。また、水素化化合物及びハロゲン化化合物気体と密閉空間内で事前に接触させて吸着させる吸着工程と、該吸着反応を経た系を反応促進する工程と、該反応促進工程を経た該気体を該密閉空間から排出する排出工程の一連の工程により活性炭を処理する方法および装置による。

Claim (excerpt)：

所定量の水素化化合物又はハロゲン化化合物気体を高純度活性炭と接触させて、大気圧以下の貯蔵環境下で該活性炭に吸着させて貯蔵し、吸着した該気体の少なくとも一部を脱着して、作業環境下へ送出するために、負圧に引くことを特徴とする、水素化化合物又はハロゲン化化合物気体を貯蔵しその後に送出する方法。

IPC (6)：

F17C 11/00 ,  B01D 53/02 ,  C01B 6/06 ,  C01B 31/08 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/205

FI (6)：

F17C 11/00 A ,  B01D 53/02 Z ,  C01B 6/06 ,  C01B 31/08 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/265 603 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 有機塩素化合物吸着用活性炭
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-296251   Applicant：鐘紡株式会社