表面波装置及びそれを用いた弾性表面波デバイス

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西澤均
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001132655
Publication number (International publication number)：2002330051
Application date： Apr. 27, 2001
Publication date： Nov. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】反射特性に優れ、反射器を構成するフィンガを少なくして、製品の小型化を図ることが可能で、かつ、電気機械結合係数が大きくてロスが少なく、しかも、電極の膜厚が周波数に与える影響の小さい、信頼性の高い表面波装置を提供する。【解決手段】水晶基板上にSH波を励振するIDT用のフィンガ及びSH波を反射するフィンガを形成した表面波装置において、オイラー角(0°,θ,90°±2°)において、θが110°〜150°、STカット90°X軸伝搬の水晶基板上に、Alを主成分とする材料からなり、かつ、規格化膜厚(H/λ)が、0.025〜0.135の範囲にあるフィンガを形成する。

Claim (excerpt)：

水晶基板上に配設された、SH波を励振するIDT用のフィンガ及び、前記SH波を反射するフィンガとを備えた表面波装置であって、前記水晶基板が、オイラー角(0°,θ,90°±2°)において、θが110°〜150°、STカット90°X軸伝搬の水晶基板であり、前記フィンガが、Alを主成分とする材料からなり、かつ、前記フィンガの規格化膜厚(H/λ)が、0.025〜0.135の範囲にあることを特徴とする表面波装置。

IPC (2)：

H03H 9/25 , H03H 9/145

FI (2)：

H03H 9/25 C , H03H 9/145 Z

F-Term (8)：

5J097AA06 , 5J097AA19 , 5J097AA29 , 5J097BB11 , 5J097DD28 , 5J097GG02 , 5J097GG07 , 5J097KK05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭63-198410
表面波装置及び通信機装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-134474 Applicant：株式会社村田製作所
特開平2-122242

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