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J-GLOBAL ID：200903090421593323

プラズマ装置

Inventor： 小町 恭一 ,  吉識 隆裕 ,  片山 克生
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 森 道雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995039498
Publication number (International publication number)：1996236296
Application date： Feb. 28, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【構成】マイクロ波導波路となる誘電体線路21と、この誘電体線路21に対向する面にマイクロ波導入口3が開口された金属製の反応容器1とを有し、このマイクロ波導入口3がマイクロ波導入板4で気密に封止されたプラズマ装置において、上記マイクロ波導入板4の厚みがマイクロ波の進行方向Xに対して漸増する。【効果】装置構成を複雑にすることなく、しかも安定して、液晶ディスプレイ用ガラス基板等の大面積の基板を十分な処理速度で均一にプラズマ処理することができる。

Claim (excerpt)：

マイクロ波導波路となる誘電体線路と、この誘電体線路に対向する面にマイクロ波導入口が開口された金属製の反応容器とを有し、このマイクロ波導入口がマイクロ波導入板で気密に封止されたプラズマ装置において、前記マイクロ波導入板の厚みがマイクロ波の進行方向に対して漸増することを特徴とするプラズマ装置。

IPC (6)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01P 5/08

FI (6)：

H05H 1/46 B ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/205 ,  H01P 5/08 J ,  H01L 21/302 B