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J-GLOBAL ID：200903090463299166

静電吸着保持方法および装置

Inventor： 鈴木 慎一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 梶原 辰也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997023203
Publication number (International publication number)：1998209258
Application date： Jan. 22, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 残留した静電吸着力を除去する。【解決手段】 ドライエッチング装置2に静電チャックとして組み込まれた静電吸着保持装置30の誘電体から成る静電吸着部31は、下側電極板12に敷設され、静電吸着部31の上面がウエハ1の保持面32を構成している。下側電極板12には静電吸着用の直流電源34と除電用の交流電源35とが高周波電源13に並列に接続されている。直流電源34の静電吸着解除後に交流電源35の交流電力を静電吸着部31に印加すると、静電吸着部31、ウエハ1の帯電量が強制的に減少されるため、静電吸着部、ウエハの残留静電吸着力が除去される。【効果】 静電吸着部、ウエハの残留静電吸着力の除去によりウエハを静電吸着部から無理せずに剥離できるため、ウエハの位置ずれや損傷の発生を未然に防止できる。また、短時間で除電できるため、スループットを向上できる。

Claim (excerpt)：

誘電体によって形成されている静電吸着部に直流電力が印加されて発生された静電吸着力によって被保持物が静電吸着保持される静電吸着保持方法において、前記静電吸着保持の解除後に、前記静電吸着保持部に交流電力が印加されて残留静電吸着力が除去されることを特徴とする静電吸着保持方法。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B23Q 7/04 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00

FI (5)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 7/04 K ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 N ,  H01L 21/302 B