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J-GLOBAL ID：200903090482414286
ダイヤモンドの合成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内田 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994126014
Publication number (International publication number)：1995101799
Application date： Jun. 08, 1994
Publication date： Apr. 18, 1995
Summary：
【要約】【目的】 気相合成によるダイヤモンド合成方法の改良に関するものである。【構成】 発熱体により加熱した原料ガスを、基板表面に導入してダイヤモンドを析出させるダイヤモンドの合成方法において、発熱体と基板表面との間隔が位置により異なるようにして基板表面温度を均一化させること、合成開始前あるいは合成中に基板表面の温度に応じて、発熱体と基板表面との間隔を調整すること、あるいはダイヤモンド合成装置内に原料ガスの流路調整手段を設け、基板表面領域以外の原料ガスの流路を遮るようにすることを特徴とするダイヤモンドの合成方法。【効果】 広い面積にわたって均一且つ速い合成速度で、均一な膜質を有するダイヤモンド膜を製造することができる。
Claim (excerpt)：
炭化水素と水素との混合ガスを加熱された発熱体により加熱し、該加熱混合ガスを加熱された基板表面に導入してダイヤモンドを析出させるダイヤモンドの合成方法において、発熱体と基板表面との間隔が位置により異なるようにすることにより基板表面温度を均一化させることを特徴とするダイヤモンドの合成方法。
IPC (2)：
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