Pat
J-GLOBAL ID：200903090542106519
固体撮像素子およびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002047472
Publication number (International publication number)：2003249633
Application date： Feb. 25, 2002
Publication date： Sep. 05, 2003
Summary：
【要約】【課題】 屈折率の異なる透明膜を段階的に形成した場合、青色領域での感度が低下するとともに、感度低下の原因となるボイドが発生し、さらには膜種の選択肢に制約が生じ、屈折率を広範囲に選択できない。【解決手段】 導波路構造を持つ固体撮像素子において、層間絶縁膜16における受光センサ部12の上に孔部17を開口し、この孔部17の内面に各組ごとに低屈折率層と高屈折率層との界面で屈折率差をもった例えば3組の導波膜19,20,21からなる多層構造の積層導波路18を形成し、導波路としての機能を持つ導波膜19,20,21の各々での全反射効果により、受光センサ部12の表面に対して斜めに入射した光をも効率良く受光センサ部12上に集光するようにする。
Claim (excerpt)：
基体の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部と、前記基体上に設けられて各層間の絶縁をなすとともに、前記受光センサ部の上に孔部を開口してなる層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜の前記孔部の内面に設けられ、隣接する複数の層を組とする複数組の導波膜からなる導波路とを具備し、前記複数組の導波膜を構成する前記複数の層が、前記孔部の中心よりも外側に位置するほど高い屈折率を有するとともに、前記複数組の導波膜における隣接する2組の導波膜のうち、前記孔部の中心側に位置する組の導波膜の最外周層が、前記孔部の内面側に位置する組の導波膜の最内周層よりも高い屈折率を有することを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2)：
FI (2)：
H04N 5/335 U
, H01L 27/14 D
4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118FA26
, 4M118GC07
, 4M118GC14
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 4M118GD11
, 5C024CX41
, 5C024CY47
, 5C024EX24
, 5C024EX42
