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J-GLOBAL ID：200903090558668550

研磨テープを用いた清浄方法

Inventor： 両毛 克己 ,  山田 圭介 ,  藤山 正昭
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993198470
Publication number (International publication number)：1995052019
Application date： Aug. 10, 1993
Publication date： Feb. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 被清浄体から外因性付着物のみを被清浄面を傷つけることなく除去できる、歩留まりの高い清浄方法を提供すること。【構成】 表面に外因性付着物を有する被清浄体と可撓性支持体上に研磨剤粒子と結合剤を主体とする研磨層を有する研磨テープとを該被清浄体の被清浄面と該研磨テープの該研磨層とが摺接するように互いに対向させて接動させ、その際被清浄体の送り速度と研磨テープの送り速度の比を1/1以下にして該被清浄面上にある該外因性付着物を除去する清浄方法。

Claim (excerpt)：

表面に外因性付着物を有する被清浄体と可撓性支持体上に研磨剤粒子と結合剤を主体とする研磨層を有する研磨テープとを該被清浄体の被清浄面と該研磨テープの該研磨層とが摺接するように互いに対向させて接動させ、その際被清浄体の送り速度と研磨テープの送り速度の比を1/1以下にして該被清浄面上にある該外因性付着物を除去する清浄方法。

IPC (5)：

B24B 21/00 ,  B08B 1/00 ,  C03C 23/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 341