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J-GLOBAL ID：200903090585371380

開口部と周期的に変化する表面形状を有する金属フィルムを利用する光伝送装置

Inventor： トーマス エブソン ,  ダニエル グラップ ,  テェニカ ティオ ,  ヘンリー レゼック
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (4)： 宮崎 昭夫 ,  金田 暢之 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003150755
Publication number (International publication number)：2004070288
Application date： May. 28, 2003
Publication date： Mar. 04, 2004
Summary：

【課題】強力な光伝送を行う装置を提供する。【解決手段】本装置は第1の表面と第2の表面を有する金属フィルムと、金属フィルムに設けられ第1の表面から第2の表面に連通する少なくとも一つの開口と、金属フィルムの第1および第2の表面の少なくとも一つに設けられた周期的に変化する表面形状とを含む。金属フィルムの一つの表面に入射する光が金属フィルムの少なくとも一つの表面上の表面プラズモンモードと相互作用し、これにより金属フィルムの少なくとも一つの開口を通ずる光伝送を強化する。本装置は単一の開口または複数の周期的に配置された開口を持つことができる。本装置はさらに波長選択光学フィルター、空間光学フィルター、集光器、近接走査光学顕微鏡装置,およびフォトリソグラフィーマスクをも備える。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

第1および第2の表面を有する金属フィルムと、 前記金属フィルムに設けられ前記第1の表面から前記第2の表面に連通する少なくとも一つの開口と、 前記金属フィルムの前記第1および前記第2の表面の少なくとも一つに設けられた周期的に変化する表面形状とを有し、 前記金属フィルムの一つの表面に入射する光が前記金属フィルムの少なくとも一つの表面上の表面プラズモンモードと相互作用し、その結果、前記金属フィルムの少なくとも一つの開口を通ずる光伝送を強化することを特徴とする光伝送装置。

IPC (4)：

G02F1/01 ,  G02B21/00 ,  G03F1/08 ,  H01L21/027

FI (6)：

G02F1/01 Z ,  G02B21/00 ,  G03F1/08 A ,  G03F1/08 D ,  H01L21/30 502P ,  H01L21/30 502D

F-Term (15)：

2H052AA07 ,  2H052AC05 ,  2H052AC29 ,  2H052AC30 ,  2H052AF06 ,  2H079AA08 ,  2H079BA01 ,  2H079BA04 ,  2H079CA04 ,  2H079CA24 ,  2H079DA01 ,  2H095BB01 ,  2H095BB02 ,  5F046BA10 ,  5F046CB17