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J-GLOBAL ID：200903090586794587
ウェハ異常検知装置及びウェハ検査方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
春日 讓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992009303
Publication number (International publication number)：1993198645
Application date： Jan. 22, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ウェハ移し替え機構を持った装置において、枚数検知だけでなくウェハ移し替え時に生じる割れなどのウェハ異常を自動的に検知する。【構成】 ウェハカセット底部からウェハを押し上げて取り出す又は収納する機構と、ウェハをウェハカセット外で保持する機構と、垂直に配列されたウェハの下面に設けたオリフラ合わせ機と、オリフラ合わせ後のオリフラ端面に対向してほぼ垂直な方向にオリフラ端面を検知し、ウェハ配列方向に移動可能なセンサを1個設けるか又はウェハ配列方向に対向して複数個設けた構造とで構成される。
Claim (excerpt)：
複数枚のウェハを同時にオリフラ合わせする機構と、複数枚の前記ウェハがウェハカセットに収納保持された状態で前記ウェハに対しこれらを押し上げて取り出す機構と、前記ウェハを前記ウェハカセットの外部で保持する機構と、前記ウェハが移し替えられるウェハ処理カセットにウェハを収納する機構を有するウェハ移し替え装置に設けられたウェハ異常検知装置であり、オリフラ合わせ機は、垂直に配列された前記ウェハの周面の近傍に設けられ、オリフラ合わせ終了後の前記ウェハのオリフラ端面に対向してほぼ垂直な方向に前記オリフラ端面を検知するセンサを設け、オリフラ端面の状態に基づきウェハの割れを検知することを特徴とするウェハ異常検知装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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