Pat

J-GLOBAL ID：200903090596964251

研磨材物品及びその製造方法

Inventor： ピサカネ,フエルデイナンド・エフ ,  ルオ,エリク
Applicant, Patent owner： フオーメクス・アジア・カンパニー・リミテツド
Agent (1)： 小田島 平吉
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000533253
Publication number (International publication number)：2002504439
Application date： Feb. 25, 1999
Publication date： Feb. 12, 2002
Summary：

【要約】本発明は研摩材物品に関する。本発明の研摩材物品は、研磨材層、研磨材層に接合されたポリウレタン膜構造物及びポリウレタン膜構造物に接合された基材を含む。本発明は、また、上記研摩材物品を製造する方法も含む。

Claim (excerpt)：

研磨材層、研磨材層に接合されたポリウレタン膜構造物及びポリウレタン膜構造物に接合された基材を含んでなり、脱イオン水に浸漬した場合、この研摩材物品が、この構造物の一平方メートル当たり約36.0×106個以下の約0.5μm以上のサイズの粒子及び約2.5ppm以下の塩化物、フッ化物、ナトリウム、硫酸塩、亜硫酸塩、あるいはケイ素イオンを放出する研摩材物品。

IPC (3)：

B24D 11/00 ,  B24B 29/00 ,  B24D 11/02

FI (3)：

B24D 11/00 D ,  B24B 29/00 N ,  B24D 11/02

F-Term (23)：

3C058AC05 ,  3C058CA06 ,  3C058CA07 ,  3C058CB06 ,  3C058DA02 ,  3C058DA16 ,  3C058DA17 ,  3C063AA02 ,  3C063AB07 ,  3C063BA15 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB04 ,  3C063BE00 ,  3C063BF00 ,  3C063BF02 ,  3C063BF04 ,  3C063BG01 ,  3C063BG08 ,  3C063BH07 ,  3C063EE10 ,  3C063EE40 ,  3C063FF30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-220838
  
• 研摩材及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-038623   Applicant：西村宏一
• 研磨シートおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-282677   Applicant：株式会社コバックス