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J-GLOBAL ID：200903090605048271

金属蒸着フィルムの製造方法

Inventor： 田中 善雄 ,  永井 逸夫 ,  上田 智昭
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994026949
Publication number (International publication number)：1995233462
Application date： Feb. 24, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：

【要約】【構成】プラスチックフイルムからなる基体の表面を、Ti、Pd、Alの中から選択された金属で被覆されたマグネトロン電極を使用し、8×10-1 パスカル以下の圧力および10W・分/m2 以上の処理強度で低温プラズマ処理し、該処理面に連続して金属蒸着膜を設けることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。【効果】酸素バリア性、および水蒸気バリア性の優れた金属蒸着フィルム安定して、かつ廉価に製造できる。

Claim (excerpt)：

プラスチックフイルムからなる基体の表面を、Ti、Pd、Alの中から選択された金属で被覆されたマグネトロン電極を使用し、8×10-1 パスカル以下の圧力および10W・分/m2 以上の処理強度で低温プラズマ処理し、該処理面に連続して金属蒸着膜を設けることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平4-212842