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J-GLOBAL ID：200903090610700513

表面観察光学系

Inventor： 林 尚久
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995328875
Publication number (International publication number)：1997166519
Application date： Dec. 18, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：

【要約】【目的】 被検面の非観察対象部位からの光が観察面に入射するのを防ぎ、観察面上に形成される被検面の像の明暗のコントラストを向上させることができる表面観察光学系を提供する。【構成】 絞り4を光源部と被検面1との間に設け、被検面1の観察対象部位10a以外の部位(非観察対象部位10b)には照明光が照射されないように照明光30aの照射範囲を制限する。これにより、非観察対象部位10bからの反射光は存在せず、その結果非観察対象部位10bからの反射光が像20aへの入射するのを防ぎ、絞り4を設けない場合に比べ像20aの明暗のコントラストを向上させることができる。

Claim (excerpt)：

観察対象である観察対象部位を有する被検面に向けて照明光を照射する光源部と、前記被検面において反射した反射光を受けて前記被検面の像を形成する観察面とを備え、前記被検面と前記観察面とを光学的に非共役な関係に配置した表面観察光学系において、前記光源部と前記被検面との間に、前記被検面への照明光の照射範囲を前記観察対象部位に制限する絞りを配置したことを特徴とする表面観察光学系。

IPC (4)：

G01M 11/00 ,  G01B 11/30 ,  G01M 11/02 ,  G01N 21/88

FI (5)：

G01M 11/00 L ,  G01M 11/00 M ,  G01B 11/30 Z ,  G01M 11/02 B ,  G01N 21/88 Z