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J-GLOBAL ID：200903090650248435

ガス雰囲気試料ホルダ

Inventor： 福島 球琳男
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998305972
Publication number (International publication number)：2000133186
Application date： Oct. 27, 1998
Publication date： May. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】 ガスの雰囲気に試料を浸漬した状態で収容セットされるガス雰囲気試料室を有する電子顕微鏡用の試料ホルダを提供すること。【解決手段】フレームと、このフレームに支持された電子線が通過する通路が設けられたブロックと、複数の電子線透過小穴及び該小穴をふさぐ薄膜を有し、前記ブロックの電子線通路に間隔を開けて固定される2枚のグリッドとを備え、該ブロックの電子線通路は、前記2枚のグリットによって挟まれたガス雰囲気試料室と、各グリッドの上側及び下側の2つのガス溜室とに区画され、前記ブロックには前記ガス雰囲気試料室に対してガスを供給、排気するための通路と、前記二つのガス溜室からガスを排気するための通路とが設けられていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

フレームと、このフレームに支持された電子線が通過する通路が設けられたブロックと、複数の電子線透過小穴及び該小穴をふさぐ薄膜を有し、前記ブロックの電子線通路に間隔を開けて固定される2枚のグリッドとを備え、該ブロックの電子線通路は、前記2枚のグリットによって挟まれたガス雰囲気試料室と、各グリッドの上側及び下側の2つのガス溜室とに区画され、前記ブロックには前記ガス雰囲気試料室に対してガスを供給、排気するための通路と、前記二つのガス溜室からガスを排気するための通路とが設けられていることを特徴とするガス雰囲気試料室を有する試料ホルダ。

F-Term (3)：

5C001AA01 ,  5C001BB03 ,  5C001CC03