Pat

J-GLOBAL ID：200903090665116624

ウェハ搬送用ホルダ

Inventor： 藤野 直彦 ,  笹井 寛
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992153183
Publication number (International publication number)：1993343378
Application date： Jun. 12, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ウェハ表面とウェハ搬送用架体との直接接触を避け、直接接触に伴うウェハ表面への傷付き、磨耗粉の発生、あるいはウェハ搬送用架体の溝側面からウェハへのダストの移着を防止する。【構成】 少なくともウェハ搬送用架体1の溝2に接触する部分がウェハ3の直径より大きな直径を有し、上記ウェハの裏面と接してウェハを保持し、上記ウェハ搬送用架体の溝に挿入保持される。

Claim (excerpt)：

少なくともウェハ搬送用架体の溝に接触する部分がウェハの直径より大きな直径を有し、上記ウェハの裏面と接してウェハを保持し、上記ウェハ搬送用架体の溝に挿入保持されるウェハ搬送用ホルダ。

IPC (2)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭59-068930
  
• 特開昭63-043327