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J-GLOBAL ID：200903090668805730
化学増幅型レジスト組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993096173
Publication number (International publication number)：1994043633
Application date： Apr. 22, 1993
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 優れた感光性を有する化学増幅型レジスト組成物を提供する。【構成】 式(I)〔R1 、R2 ;置換もしくは非置換のアミノフェニル、9-ジュロリジル、Y=CH-(Y;置換もしくは非置換の含窒素複素環基)または(Z1 、Z2 ;置換もしくは非置換のフェニル)〕で表わされるスクアリリウム化合物と光酸発生剤とバインダーとを含有する化学増幅型レジスト組成物。
Claim (excerpt)：
式(I)【化1】〔式中、R1 およびR2 はそれぞれ同一もしくは異なって置換もしくは非置換のアミノフェニル、9-ジュロリジル、Y=CH-(式中、Yは置換もしくは非置換の含窒素複素環基を表わす)または【化2】(式中、Z1 およびZ2 は同一もしくは異なって置換もしくは非置換のフェニルを表わす)を表わす〕で表わされるスクアリリウム化合物と光酸発生剤とバインダーとを含有する化学増幅型レジスト組成物。
IPC (7)：
G03F 7/004 515
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/038 505
, G03F 7/039 501
, G03H 1/02
, H01L 21/027
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