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J-GLOBAL ID：200903090698170470

表面疵検査方法

Inventor： 稲田 清崇 ,  横山 廣一
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992290541
Publication number (International publication number)：1994138055
Application date： Oct. 28, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 3次元的特徴量を求めて判別精度を向上し、作業効率を高める表面疵検査方法を提供する。【構成】 正反射光検出装置11,第1乱反射光検出装置12,第2乱反射光検出装置13及び磁気光学検出装置14により検出された画像情報を統合し、表面疵の角度を得て3次元的特徴量を求め、これを総合判別処理装置4へ与える。

Claim (excerpt)：

被検査材の表面に光を照射し、前記被検査材の表面で反射した複数の角度における反射光強度を検出し、その検出結果に基づいて被検査材の表面疵の特徴量を複数種類求め、既知の表面疵の種類とその特徴量とを関係づけた複数のデータ及び被検査材の表面疵の特徴量から該表面疵の種類を判別する判別手法により、求めた検査材の特徴量に基づいて、その表面疵の種類を判別する表面疵検査方法であって、前記反射光強度の相互関係を求め、これに基づく前記表面疵の3次元的特徴量を求めて、前記複数種類の特徴量及び前記3次元的特徴量に基づいて表面疵の種類を判別することを特徴とする表面疵検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88